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國立臺灣大學 電子工程學研究所 田維誠所指導 林奕丞的 CMOS-MEMS純金屬電極觸覺型電容式壓力感測器 (2012),提出歐姆龍血壓計校正關鍵因素是什麼,來自於微機電系統、互補式金氧半導體製程、純金屬電極、氧化矽蝕刻、壓力感測器、觸覺感測器、梳狀電極、震盪電路、防短路措施。

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接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了歐姆龍血壓計校正,大家也想知道這些:

CMOS-MEMS純金屬電極觸覺型電容式壓力感測器

為了解決歐姆龍血壓計校正的問題,作者林奕丞 這樣論述:

本研究嘗試設計以金屬為主體的薄膜結構,製作電容式壓力感測器,以應用於體外非侵入式血液流感測器,利用商用製程TSMC CMOS MEMS 0.35μm 2P4M下線平台下線,搭配商用氧化矽蝕刻劑Silox Vapox III以及自行開發的後製程步驟。其優點可增加電極間的有效移動空間。且為減少直接量測電容而產生的寄生效應,後端搭配方波震盪電路;本論文感測器實作可分為兩代設計,第一代是提出垂直梳狀電極的想法,跟傳統平板電極做個比較,但發現該設計會有翹曲與容易短路等不理想效應;第二代共八種設計,加入防短路措施於平板電極中,以及比較不同幾何參數的設計效應,尤其在這篇論文提Via金屬連結層的三種設計,分

別為點狀、網狀跟散狀,利用幾何結構的不同,成功的調變結構的力學參數,藉此提高其靈敏度,以及減少翹曲效應的發生,靈敏度從1.23~5.37Hz/ mmHg,最大可量測範圍晶片高達618mmHg。