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CMOS-MEMS純金屬電極觸覺型電容式壓力感測器

為了解決歐姆龍血壓計校正時間的問題，作者林奕丞 這樣論述：

本研究嘗試設計以金屬為主體的薄膜結構，製作電容式壓力感測器，以應用於體外非侵入式血液流感測器，利用商用製程TSMC CMOS MEMS 0.35μm 2P4M下線平台下線，搭配商用氧化矽蝕刻劑Silox Vapox III以及自行開發的後製程步驟。其優點可增加電極間的有效移動空間。且為減少直接量測電容而產生的寄生效應，後端搭配方波震盪電路；本論文感測器實作可分為兩代設計，第一代是提出垂直梳狀電極的想法，跟傳統平板電極做個比較，但發現該設計會有翹曲與容易短路等不理想效應；第二代共八種設計，加入防短路措施於平板電極中，以及比較不同幾何參數的設計效應，尤其在這篇論文提Via金屬連結層的三種設計，分

別為點狀、網狀跟散狀，利用幾何結構的不同，成功的調變結構的力學參數，藉此提高其靈敏度，以及減少翹曲效應的發生，靈敏度從1.23~5.37Hz/ mmHg，最大可量測範圍晶片高達618mmHg。